Preparation of highly oriented polycrystalline AlN thin films deposited on glass at oblique-angle incidence: Fid-Bau Portal

Preparation of highly oriented polycrystalline AlN thin films deposited on glass at oblique-angle incidence

Rodriguez-Navarro, A. / Ota�o-Rivera, W. / Garcia-Ruiz, J. M. / Messier, R. / Pilione, L. J.

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Titel:

Preparation of highly oriented polycrystalline AlN thin films deposited on glass at oblique-angle incidence

Beteiligte:

Rodriguez-Navarro, A. (Autor:in) / Ota�o-Rivera, W. (Autor:in) / Garcia-Ruiz, J. M. (Autor:in) / Messier, R. (Autor:in) / Pilione, L. J. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 12 ; 1689-1692

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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