Influence of Nano Abrasive on Chemical Mechanical Ultra-Precision Machining of Sapphire Substrate Surfaces: Fid-Bau Portal

Influence of Nano Abrasive on Chemical Mechanical Ultra-Precision Machining of Sapphire Substrate Surfaces

Niu, X.H. / Huang, Y.H. / Zhou, J.W. / Han, L.Y. / Yuan, G.H.

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Titel:

Influence of Nano Abrasive on Chemical Mechanical Ultra-Precision Machining of Sapphire Substrate Surfaces

Beteiligte:

Niu, X.H. (Autor:in) / Huang, Y.H. (Autor:in) / Zhou, J.W. (Autor:in) / Han, L.Y. (Autor:in) / Yuan, G.H. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 609/610 ; 130-134

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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