Study on planarization machining of sapphire wafer with soft-hard mixed abrasive through mechanical chemical polishing: Fid-Bau Portal

Study on planarization machining of sapphire wafer with soft-hard mixed abrasive through mechanical chemical polishing

Xu, Y. / Lu, J. / Xu, X.

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Titel:

Study on planarization machining of sapphire wafer with soft-hard mixed abrasive through mechanical chemical polishing

Beteiligte:

Xu, Y. (Autor:in) / Lu, J. (Autor:in) / Xu, X. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 389 ; 713-720

Erscheinungsdatum:

01.01.2016

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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