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Research on Zero Bias Characteristic of MEMS Accelerometer in FBW

Zhong, L.C. / Wang, J.Z. / Shi, J.D.

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Titel:

Research on Zero Bias Characteristic of MEMS Accelerometer in FBW

Beteiligte:

Zhong, L.C. (Autor:in) / Wang, J.Z. (Autor:in) / Shi, J.D. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

MICRO-NANO TECHNOLOGY XV ; 1046-1052

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 609/610

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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