Role of Al2O3 intermediate layer for improving the quality of polycrystalline-silicon film in inverted aluminum-induced layer exchange: Fid-Bau Portal

Role of Al2O3 intermediate layer for improving the quality of polycrystalline-silicon film in inverted aluminum-induced layer exchange

Duan, W. / Meng, F. / Bian, J. / Yu, J. / Zhang, L. / Liu, Z.

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Titel:

Role of Al2O3 intermediate layer for improving the quality of polycrystalline-silicon film in inverted aluminum-induced layer exchange

Beteiligte:

Duan, W. (Autor:in) / Meng, F. (Autor:in) / Bian, J. (Autor:in) / Yu, J. (Autor:in) / Zhang, L. (Autor:in) / Liu, Z. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 327 ; 37-42

Erscheinungsdatum:

01.01.2015

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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