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    Titel:

    Probing initial-stages of ALD growth with dynamic in situ spectroscopic ellipsometry

    Beteiligte:

    Muneshwar, T. (Autor:in) / Cadien, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 328 ; 344-348

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2015

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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