Experimental study of hydrogen plasma etching of (100) single crystal diamond in a MPACVD reactor: Fid-Bau Portal

Experimental study of hydrogen plasma etching of (100) single crystal diamond in a MPACVD reactor

Ivanov, O. A. / Muchnikov, A. B. / Chernov, V. V. / Bogdanov, S. A. / Vikharev, A. L. / Butler, J. E.

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Titel:

Experimental study of hydrogen plasma etching of (100) single crystal diamond in a MPACVD reactor

Beteiligte:

Ivanov, O. A. (Autor:in) / Muchnikov, A. B. (Autor:in) / Chernov, V. V. (Autor:in) / Bogdanov, S. A. (Autor:in) / Vikharev, A. L. (Autor:in) / Butler, J. E. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 151 ; 115-118

Erscheinungsdatum:

01.01.2015

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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