Surface morphology and grain analysis of successively industrially grown amorphous hydrogenated carbon films (a-C:H) on silicon: Fid-Bau Portal

Surface morphology and grain analysis of successively industrially grown amorphous hydrogenated carbon films (a-C:H) on silicon

Catena, A. / McJunkin, T. / Agnello, S. / Gelardi, F. M. / Wehner, S. / Fischer, C. B.

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Titel:

Surface morphology and grain analysis of successively industrially grown amorphous hydrogenated carbon films (a-C:H) on silicon

Beteiligte:

Catena, A. (Autor:in) / McJunkin, T. (Autor:in) / Agnello, S. (Autor:in) / Gelardi, F. M. (Autor:in) / Wehner, S. (Autor:in) / Fischer, C. B. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 347 ; 657-667

Erscheinungsdatum:

01.01.2015

Format / Umfang:

11 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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