Influence of fabrication parameters on the nanostructure of Si-NWs under HF/Fe(NO~3)~3 etching system: Fid-Bau Portal

Influence of fabrication parameters on the nanostructure of Si-NWs under HF/Fe(NO~3)~3 etching system

Xiao, Y. / Chen, X. / Ma, W. / Li, S. / Li, Y. / He, J. / Zhang, H. / Li, J.

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Titel:

Influence of fabrication parameters on the nanostructure of Si-NWs under HF/Fe(NO~3)~3 etching system

Beteiligte:

Xiao, Y. (Autor:in) / Chen, X. (Autor:in) / Ma, W. (Autor:in) / Li, S. (Autor:in) / Li, Y. (Autor:in) / He, J. (Autor:in) / Zhang, H. (Autor:in) / Li, J. (Autor:in)

Erschienen in:

International journal of materials research ; 106 ; 406-413

Erscheinungsdatum:

01.01.2015

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

1862-5282

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 669.9

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