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    Titel:

    Sputtered oxides used for passivation layers of amorphous InGaZnO thin film transistors

    Beteiligte:

    Wu, Jie (Autor:in) / Chen, Yuting (Autor:in) / Zhou, Daxiang (Autor:in) / Hu, Zhe (Autor:in) / Xie, Haiting (Autor:in) / Dong, Chengyuan (Autor:in)

    Erschienen in:

    Materials science in semiconductor processing ; 29 ; 277-282

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2015

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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