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    Titel:

    Crack-free Al0.5Ga0.5N epilayer grown on SiC substrate by in situ SiNx interlayer

    Beteiligte:

    Tao, Pengcheng (Autor:in) / Liang, Hongwei (Autor:in) / Xia, Xiaochuan (Autor:in) / Chen, Yuanpeng (Autor:in) / Yang, Chao (Autor:in) / Liu, Jianxun (Autor:in) / Zhu, Zhifu (Autor:in) / Liu, Yang (Autor:in) / Shen, Rensheng (Autor:in) / Luo, Yingmin (Autor:in)

    Erschienen in:

    Materials science in semiconductor processing ; 41 ; 291-296

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2016

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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