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Oxygen behavior in germanium during melting laser thermal annealing

Milazzo, R. / Impellizzeri, G. / Cuscunà, M. / De Salvador, D. / Mastromatteo, M. / La Magna, A. / Fortunato, G. / Priolo, F. / Privitera, V. / Carnera, A. / ... [mehr]

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Titel:

Oxygen behavior in germanium during melting laser thermal annealing

Beteiligte:

Milazzo, R. (Autor:in) / Impellizzeri, G. (Autor:in) / Cuscunà, M. (Autor:in) / De Salvador, D. (Autor:in) / Mastromatteo, M. (Autor:in) / La Magna, A. (Autor:in) / Fortunato, G. (Autor:in) / Priolo, F. (Autor:in) / Privitera, V. (Autor:in) / Carnera, A. (Autor:in)

Erschienen in:

Materials science in semiconductor processing ; 42 ; 196-199

Erscheinungsdatum:

01.01.2016

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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