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Laser annealing for n+/p junction formation in germanium

Tsouroutas, P. / Tsoukalas, D. / Florakis, A. / Zergioti, I. / Serafetinides, A. A. / Cherkashin, N. / Marty, B. / Claverie, A.

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Titel:

Laser annealing for n+/p junction formation in germanium

Beteiligte:

Tsouroutas, P. (Autor:in) / Tsoukalas, D. (Autor:in) / Florakis, A. (Autor:in) / Zergioti, I. (Autor:in) / Serafetinides, A. A. (Autor:in) / Cherkashin, N. (Autor:in) / Marty, B. (Autor:in) / Claverie, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 9 ; 644-649

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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