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    Titel:

    Pattern transfer of microstructures between deeply etched surface for MEMS applications

    Beteiligte:

    Joyce, Robin (Autor:in) / Yadav, Supriya (Autor:in) / Sharma, Akash Kumar (Autor:in) / Panwar, Deepak Kumar (Autor:in) / Bhatia, Ravi Raj (Autor:in) / Varghese, Soney (Autor:in) / Akhtar, Jamil (Autor:in)

    Erschienen in:

    Materials science in semiconductor processing ; 56 ; 373-380

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2016

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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