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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Spectroscopic ellipsometry investigation of microcrystalline fractions in p-type hydrogenated microcrystalline silicon oxide (p-μc-SiOx:H) ultra-thin films

    Beteiligte:

    Lertvanithphol, T. (Autor:in) / Rakreungdet, W. (Autor:in) / Horprathum, M. (Autor:in) / Eiamchai, P. (Autor:in) / Sritharathikhun, J. (Autor:in) / Inthisang, S. (Autor:in) / Krajangsang, T. (Autor:in) / Sriprapha, K. (Autor:in) / Limwichean, S. (Autor:in) / Nuntawong, N. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Materials science in semiconductor processing ; 68 ; 327-333

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2017

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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