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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Atomic-scale characterization of plasma-induced damage in plasma-enhanced atomic layer deposition

    Beteiligte:

    Kim, Kangsik (Autor:in) / Oh, Il-Kwon (Autor:in) / Kim, Hyungjun (Autor:in) / Lee, Zonghoon (Autor:in)

    Erschienen in:

    Applied surface science ; 425 ; 781-787

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2017

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.44

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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