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    Titel:

    Properties of AlN grown by plasma enhanced atomic layer deposition

    Beteiligte:

    Bosund, M. (Autor:in) / Sajavaara, T. (Autor:in) / Laitinen, M. (Autor:in) / Huhtio, T. (Autor:in) / Putkonen, M. (Autor:in) / Airaksinen, V. M. (Autor:in) / Lipsanen, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 7827-7830

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2011

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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