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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Environment friendly chemical mechanical polishing of copper

    Beteiligte:

    Zhang, Zhenyu (Autor:in) / Cui, Junfeng (Autor:in) / Zhang, Jiabo (Autor:in) / Liu, Dongdong (Autor:in) / Yu, Zhijian (Autor:in) / Guo, Dongming (Autor:in)

    Erschienen in:

    Applied surface science ; 467 ; 5-11

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2019

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.44

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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