VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON SCHICHTEN AUS SILICIUMCARBID: Fid-Bau Portal

VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON SCHICHTEN AUS SILICIUMCARBID

GREULICH-WEBER SIEGMUND / SCHLEICHER-TAPPESER RÜDIGER

The invention relates to a method for producing thin layers of silicon carbide by means of a solution or dispersion containing carbon and silicon.

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VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON SCHICHTEN AUS SILICIUMCARBID

GREULICH-WEBER SIEGMUND / SCHLEICHER-TAPPESER RÜDIGER

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The invention relates to a method for producing thin layers of silicon carbide by means of a solution or dispersion containing carbon and silicon.

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GREULICH-WEBER SIEGMUND / SCHLEICHER-TAPPESER RÜDIGER

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Titel:

VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON SCHICHTEN AUS SILICIUMCARBID

Weitere Titelangaben:

METHOD FOR PRODUCING LAYERS OF SILICON CARBIDE
PROCÉDÉ POUR PRODUIRE DES COUCHES DE CARBURE DE SILICIUM

Beteiligte:

GREULICH-WEBER SIEGMUND (Autor:in) / SCHLEICHER-TAPPESER RÜDIGER (Autor:in)

Erscheinungsdatum:

15.04.2020

Medientyp:

Patent

Format:

Elektronische Ressource

Sprache:

Deutsch

Klassifikation:

IPC: C04B Kalk , LIME / C30B SINGLE-CRYSTAL GROWTH , Züchten von Einkristallen / H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES

GREULICH-WEBER SIEGMUND / SCHLEICHER-TAPPESER RÜDIGER | Europäisches Patentamt | 2018

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