Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Verfahren zur Erzeugung von Schichten aus Siliciumcarbid
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung dünner Schichten aus Siliciumcarbid mittels einer kohlenstoff- und siliciumhaltigen Lösung oder Dispersion.
The invention relates to a method for producing thin layers of silicon carbide by means of a solution or dispersion containing carbon and silicon.
Verfahren zur Erzeugung von Schichten aus Siliciumcarbid
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung dünner Schichten aus Siliciumcarbid mittels einer kohlenstoff- und siliciumhaltigen Lösung oder Dispersion.
The invention relates to a method for producing thin layers of silicon carbide by means of a solution or dispersion containing carbon and silicon.
Verfahren zur Erzeugung von Schichten aus Siliciumcarbid
GREULICH-WEBER SIEGMUND (Autor:in) / SCHLEICHER-TAPPESER RÜDIGER (Autor:in)
13.12.2018
Patent
Elektronische Ressource
Deutsch
VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON SCHICHTEN AUS SILICIUMCARBID
| Europäisches Patentamt | 2020
VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON SCHICHTEN AUS SILICIUMCARBID
| Europäisches Patentamt | 2018
Verfahren zum Herstellen eines Siliciumcarbid-Sinterkörpers
| Europäisches Patentamt | 2018
| Europäisches Patentamt | 2022
| Europäisches Patentamt | 2021