Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON SCHICHTEN AUS SILICIUMCARBID
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung dünner Schichten aus Siliciumcarbid mittels einer kohlenstoff- und siliciumhaltigen Lösung oder Dispersion.
The invention relates to a method for producing thin layers of silicon carbide by means of a solution or dispersion containing carbon and silicon.
La présente invention concerne un procédé pour produire de minces couches de carbure de silicium au moyen d'une solution contenant du carbone et du silicium.
VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON SCHICHTEN AUS SILICIUMCARBID
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung dünner Schichten aus Siliciumcarbid mittels einer kohlenstoff- und siliciumhaltigen Lösung oder Dispersion.
The invention relates to a method for producing thin layers of silicon carbide by means of a solution or dispersion containing carbon and silicon.
La présente invention concerne un procédé pour produire de minces couches de carbure de silicium au moyen d'une solution contenant du carbone et du silicium.
VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON SCHICHTEN AUS SILICIUMCARBID
METHOD FOR PRODUCING LAYERS OF SILICON CARBIDE
PROCÉDÉ POUR PRODUIRE DES COUCHES DE CARBURE DE SILICIUM
GREULICH-WEBER SIEGMUND (Autor:in) / SCHLEICHER-TAPPESER RÜDIGER (Autor:in)
13.12.2018
Patent
Elektronische Ressource
Deutsch
VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON SCHICHTEN AUS SILICIUMCARBID
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