Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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OXIDE SINTERED COMPACT AND OXIDE TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a complex oxide sintered compact from which an oxide transparent conductive film exhibiting lower optical absorption characteristics over a wide wavelength range and having low resistance can be obtained, and an oxide transparent conductive film.SOLUTION: An oxide sintered compact has indium, tantalum, zirconium, and oxygen as constituent elements, in which the atom ratios of the elements constituting the sintered compact are Ta/(In+Ta+Zr)=0.1 to 0.5 atom%, Zr/(In+Ta+Zr)=1.0 to 2.4 atom%, and (Ta+Zr)/(In+Ta+Zr)=1.1 to 2.5 atom% when indium, tantalum, and zirconium are respectively represented by In, Ta, and Zr.
【課題】 本発明は、広い波長域に渡ってより低い光吸収特性を示し、かつ低抵抗の酸化物透明導電膜を得ることができる複合酸化物焼結体、及び酸化物透明導電膜を提供することを目的とする。【解決手段】 構成元素としてインジウム、タンタル、ジルコニウム及び酸素を有する酸化物焼結体であって、当該焼結体を構成する元素の原子比が、インジウム、タンタル、ジルコニウムをそれぞれＩｎ、Ｔａ、Ｚｒとしたときに、Ｔａ／（Ｉｎ＋Ｔａ＋Ｚｒ）＝０．１〜０．５ａｔ％Ｚｒ／（Ｉｎ＋Ｔａ＋Ｚｒ）＝１．０〜２．４ａｔ％（Ｔａ＋Ｚｒ）／（Ｉｎ＋Ｔａ＋Ｚｒ）＝１．１〜２．５ａｔ％であることを特徴とする酸化物焼結体を提供する。【選択図】なし
OXIDE SINTERED COMPACT AND OXIDE TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a complex oxide sintered compact from which an oxide transparent conductive film exhibiting lower optical absorption characteristics over a wide wavelength range and having low resistance can be obtained, and an oxide transparent conductive film.SOLUTION: An oxide sintered compact has indium, tantalum, zirconium, and oxygen as constituent elements, in which the atom ratios of the elements constituting the sintered compact are Ta/(In+Ta+Zr)=0.1 to 0.5 atom%, Zr/(In+Ta+Zr)=1.0 to 2.4 atom%, and (Ta+Zr)/(In+Ta+Zr)=1.1 to 2.5 atom% when indium, tantalum, and zirconium are respectively represented by In, Ta, and Zr.
【課題】 本発明は、広い波長域に渡ってより低い光吸収特性を示し、かつ低抵抗の酸化物透明導電膜を得ることができる複合酸化物焼結体、及び酸化物透明導電膜を提供することを目的とする。【解決手段】 構成元素としてインジウム、タンタル、ジルコニウム及び酸素を有する酸化物焼結体であって、当該焼結体を構成する元素の原子比が、インジウム、タンタル、ジルコニウムをそれぞれＩｎ、Ｔａ、Ｚｒとしたときに、Ｔａ／（Ｉｎ＋Ｔａ＋Ｚｒ）＝０．１〜０．５ａｔ％Ｚｒ／（Ｉｎ＋Ｔａ＋Ｚｒ）＝１．０〜２．４ａｔ％（Ｔａ＋Ｚｒ）／（Ｉｎ＋Ｔａ＋Ｚｒ）＝１．１〜２．５ａｔ％であることを特徴とする酸化物焼結体を提供する。【選択図】なし
OXIDE SINTERED COMPACT AND OXIDE TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM
酸化物焼結体及び酸化物透明導電膜
KURAMOCHI TOSHIHITO (Autor:in) / TAMANO KIMIAKI (Autor:in) / AKIIKE RYO (Autor:in)
07.09.2015
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
OXIDE SINTERED BODY AND OXIDE TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM
| Europäisches Patentamt | 2017
Oxide sintered body and transparent conductive oxide film
| Europäisches Patentamt | 2022