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PLASMA CORROSION RESISTANT THIN FILM COATING FOR HIGH TEMPERATURE APPLICATIONS
To provide a technique that protects a chamber component such as a susceptor that is frequently exposed to a plasma environment.SOLUTION: In a processing chamber 100, an article such as a susceptor 134 includes a body of a thermally conductive material coated on the surface of a chamber body 105 with a first protective layer 135 and a second protective layer 136, and includes a plasma resistant plug inserted into a hole in the chamber body. The first protective layer is a thermally conductive ceramic, and the second protective layer is a plasma resistant ceramic thin film that covers the first protective layer and is resistant to cracking at a temperature of 650°C.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】プラズマ環境に頻繁に曝露されるサセプタなどのチャンバコンポーネントを保護する技術を提供する。【解決手段】処理チャンバ１００において、サセプタ１３４などの物品は、チャンバ本体１０５の表面上に第１保護層１３５及び第２保護層１３６によって被覆された熱伝導性材料の本体を含み、チャンバ本体の穴内に挿入された耐プラズマ性プラグを有する。第１保護層は、熱伝導性セラミックスであり、第２保護層は、第１保護層を被覆し、６５０℃の温度でクラッキングに耐性のある耐プラズマ性セラミックス薄膜である。【選択図】図１
PLASMA CORROSION RESISTANT THIN FILM COATING FOR HIGH TEMPERATURE APPLICATIONS
To provide a technique that protects a chamber component such as a susceptor that is frequently exposed to a plasma environment.SOLUTION: In a processing chamber 100, an article such as a susceptor 134 includes a body of a thermally conductive material coated on the surface of a chamber body 105 with a first protective layer 135 and a second protective layer 136, and includes a plasma resistant plug inserted into a hole in the chamber body. The first protective layer is a thermally conductive ceramic, and the second protective layer is a plasma resistant ceramic thin film that covers the first protective layer and is resistant to cracking at a temperature of 650°C.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】プラズマ環境に頻繁に曝露されるサセプタなどのチャンバコンポーネントを保護する技術を提供する。【解決手段】処理チャンバ１００において、サセプタ１３４などの物品は、チャンバ本体１０５の表面上に第１保護層１３５及び第２保護層１３６によって被覆された熱伝導性材料の本体を含み、チャンバ本体の穴内に挿入された耐プラズマ性プラグを有する。第１保護層は、熱伝導性セラミックスであり、第２保護層は、第１保護層を被覆し、６５０℃の温度でクラッキングに耐性のある耐プラズマ性セラミックス薄膜である。【選択図】図１
PLASMA CORROSION RESISTANT THIN FILM COATING FOR HIGH TEMPERATURE APPLICATIONS
高温アプリケーション用プラズマ耐食性薄膜コーティング
VAHID FIROUZDOR (Autor:in) / BIRAJA P KANUNGO (Autor:in) / JENNIFER Y SUN (Autor:in) / MARTIN J SALINAS (Autor:in) / JARED AHMAD LEE (Autor:in)
28.05.2020
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
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