Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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CERAMIC SUBSTRATE AND SUSCEPTOR
A ceramic substrate produced using a dielectric material containing silicon carbide particles as a forming material, wherein the number of the silicon carbide particles per unit area on the surface of the substrate is smaller than that in a cross section of the substrate.
Un substrat céramique produit à l'aide d'un matériau diélectrique contenant des particules de carbure de silicium en tant que matériau de formation, le nombre de particules de carbure de silicium par zone unitaire sur la surface du substrat étant inférieur à celui dans une section transversale du substrat.
炭化ケイ素粒子を含む誘電体材料を形成材料とするセラミックス基体であって、基体の表面における単位面積当たりの炭化ケイ素粒子の個数が、基体の断面における単位面積当たりの炭化ケイ素粒子の個数よりも少ないセラミックス基体。
CERAMIC SUBSTRATE AND SUSCEPTOR
A ceramic substrate produced using a dielectric material containing silicon carbide particles as a forming material, wherein the number of the silicon carbide particles per unit area on the surface of the substrate is smaller than that in a cross section of the substrate.
Un substrat céramique produit à l'aide d'un matériau diélectrique contenant des particules de carbure de silicium en tant que matériau de formation, le nombre de particules de carbure de silicium par zone unitaire sur la surface du substrat étant inférieur à celui dans une section transversale du substrat.
炭化ケイ素粒子を含む誘電体材料を形成材料とするセラミックス基体であって、基体の表面における単位面積当たりの炭化ケイ素粒子の個数が、基体の断面における単位面積当たりの炭化ケイ素粒子の個数よりも少ないセラミックス基体。
CERAMIC SUBSTRATE AND SUSCEPTOR
SUBSTRAT CÉRAMIQUE ET SUSCEPTEUR
セラミックス基体およびサセプタ
KOSAKAI MAMORU (Autor:in) / HIDAKA NOBUHIRO (Autor:in) / KIMURA NAOTO (Autor:in) / KUGIMOTO HIRONORI (Autor:in)
03.10.2019
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch