Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Graphite crucible for single crystal growth
The present invention relates to a graphite crucible for single crystal growth which can effectively reduce wear and oxidation even when a main body is divided along a vertical dividing line. The present invention relates to a graphite crucible for single crystal growth which supports a quartz crucible used in the Czochralski (Cz) process and comprises: a main body having an upper surface opened in a container shape for accommodating the quartz crucible and divided by the vertical dividing line; and a guide detachably installed to surround an outer circumferential surface of the main body.
본 발명은 본체가 상하 방향의 분할선을 따라 나눠지게 구성되더라도 마모와 산화를 효과적으로 개선할 수 있는 단결정 성장용 흑연 도가니에 관한 것이다. 본 발명은 쵸크랄스키(Cz) 공정에 사용되는 석영 도가니를 지지하는 단결정 성장용 흑연 도가니에 있어서, 상기 석영 도가니를 수용하는 용기 모양으로 상면이 개방되고, 상하 방향의 분할선에 의해 나눠진 본체; 및 상기 본체의 외주면을 감싸도록 탈착 가능하게 설치된 가이드;를 포함하는 단결정 성장용 흑연 도가니를 제공한다.
Graphite crucible for single crystal growth
The present invention relates to a graphite crucible for single crystal growth which can effectively reduce wear and oxidation even when a main body is divided along a vertical dividing line. The present invention relates to a graphite crucible for single crystal growth which supports a quartz crucible used in the Czochralski (Cz) process and comprises: a main body having an upper surface opened in a container shape for accommodating the quartz crucible and divided by the vertical dividing line; and a guide detachably installed to surround an outer circumferential surface of the main body.
본 발명은 본체가 상하 방향의 분할선을 따라 나눠지게 구성되더라도 마모와 산화를 효과적으로 개선할 수 있는 단결정 성장용 흑연 도가니에 관한 것이다. 본 발명은 쵸크랄스키(Cz) 공정에 사용되는 석영 도가니를 지지하는 단결정 성장용 흑연 도가니에 있어서, 상기 석영 도가니를 수용하는 용기 모양으로 상면이 개방되고, 상하 방향의 분할선에 의해 나눠진 본체; 및 상기 본체의 외주면을 감싸도록 탈착 가능하게 설치된 가이드;를 포함하는 단결정 성장용 흑연 도가니를 제공한다.
Graphite crucible for single crystal growth
단결정 성장용 흑연 도가니
LEE DEUK JIN (Autor:in) / CHOI IL SOO (Autor:in) / KANG JONG MIN (Autor:in)
01.07.2019
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
| Europäisches Patentamt | 2017
Europäisches Patentamt | 2017
Europäisches Patentamt | 2018