Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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RARE-EARTH OXIDE BASED MONOLITHIC CHAMBER MATERIAL
A plasma resistant ceramic article comprises a plasma resistant ceramic material comprising 60-80 mol % of Y2O3, above 0 mol % to 9 mol % of ZrO2, and 20-40 mol % of Al2O3.
RARE-EARTH OXIDE BASED MONOLITHIC CHAMBER MATERIAL
A plasma resistant ceramic article comprises a plasma resistant ceramic material comprising 60-80 mol % of Y2O3, above 0 mol % to 9 mol % of ZrO2, and 20-40 mol % of Al2O3.
RARE-EARTH OXIDE BASED MONOLITHIC CHAMBER MATERIAL
SUN JENNIFER Y (Autor:in) / KANUNGO BIRAJA P (Autor:in)
10.11.2016
Patent
Elektronische Ressource
Englisch