Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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MAGNETIC TUNNEL JUNCTIONS AND METHODS OF FABRICATION THEREOF
Embodiments of the present disclosure are for systems and methods for fabrication of a magnetic tunnel junction stack. This fabrication can occur via methods including one or more of (1) heating the substrate after the deposition of a buffer layer on the substrate, prior to deposition of a seed layer; (2) cooling the substrate after the deposition of a second pinning layer, before deposition of a structure blocking layer; (3) heating the substrate during the deposition of a tunnel barrier layer and then cooling it after the deposition of the tunnel barrier layer is complete; (4) heating the substrate after the deposition of a magnetic storage layer on the tunnel barrier layer; and (5) cooling the substrate after the deposition of the magnetic storage layer before a first interlayer of the capping layer is deposited.
Des modes de réalisation de la présente invention concernent des systèmes et des procédés de fabrication d'un empilement de jonction à effet tunnel magnétique. Cette fabrication peut se produire par l'intermédiaire de procédés comprenant un ou plusieurs éléments parmi (1) chauffer le substrat après le dépôt d'une couche tampon sur le substrat, avant le dépôt d'une couche de germe ; (2) refroidir le substrat après le dépôt d'une seconde couche d'ancrage, avant le dépôt d'une couche de blocage de structure ; (3) chauffer le substrat pendant le dépôt d'une couche de barrière de tunnel et ensuite le refroidir après que le dépôt de la couche de barrière de tunnel est terminé ; (4) chauffer le substrat après le dépôt d'une couche de stockage magnétique sur la couche barrière de tunnel ; et (5) refroidir le substrat après le dépôt de la couche de stockage magnétique avant le dépôt d'une première couche intermédiaire de la couche de recouvrement.
MAGNETIC TUNNEL JUNCTIONS AND METHODS OF FABRICATION THEREOF
Embodiments of the present disclosure are for systems and methods for fabrication of a magnetic tunnel junction stack. This fabrication can occur via methods including one or more of (1) heating the substrate after the deposition of a buffer layer on the substrate, prior to deposition of a seed layer; (2) cooling the substrate after the deposition of a second pinning layer, before deposition of a structure blocking layer; (3) heating the substrate during the deposition of a tunnel barrier layer and then cooling it after the deposition of the tunnel barrier layer is complete; (4) heating the substrate after the deposition of a magnetic storage layer on the tunnel barrier layer; and (5) cooling the substrate after the deposition of the magnetic storage layer before a first interlayer of the capping layer is deposited.
Des modes de réalisation de la présente invention concernent des systèmes et des procédés de fabrication d'un empilement de jonction à effet tunnel magnétique. Cette fabrication peut se produire par l'intermédiaire de procédés comprenant un ou plusieurs éléments parmi (1) chauffer le substrat après le dépôt d'une couche tampon sur le substrat, avant le dépôt d'une couche de germe ; (2) refroidir le substrat après le dépôt d'une seconde couche d'ancrage, avant le dépôt d'une couche de blocage de structure ; (3) chauffer le substrat pendant le dépôt d'une couche de barrière de tunnel et ensuite le refroidir après que le dépôt de la couche de barrière de tunnel est terminé ; (4) chauffer le substrat après le dépôt d'une couche de stockage magnétique sur la couche barrière de tunnel ; et (5) refroidir le substrat après le dépôt de la couche de stockage magnétique avant le dépôt d'une première couche intermédiaire de la couche de recouvrement.
MAGNETIC TUNNEL JUNCTIONS AND METHODS OF FABRICATION THEREOF
JONCTIONS À EFFET TUNNEL MAGNÉTIQUES ET LEURS PROCÉDÉS DE FABRICATION
XUE LIN (Autor:in) / CHING CHI HONG (Autor:in) / WANG XIAODONG (Autor:in) / WANG RONGJUN (Autor:in) / PAKALA MAHENDRA (Autor:in)
16.01.2020
Patent
Elektronische Ressource
Englisch
IPC:
H10N
| British Library Online Contents | 2006
Magnetic tunnel junctions for magnetic random access memory applications
| British Library Online Contents | 2002