Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
CERAMIC ASSEMBLY, ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC ASSEMBLY
This ceramic assembly comprises a pair of ceramic plates and an electrode layer interposed between the pair of ceramic plates, wherein: the electrode layer is buried in at least one of the pair of ceramic plates; and at an outer edge of the electrode layer, the joint surface between the at least one of the pair of ceramic plates and the electrode layer is tilted with respect to the thickness direction of the pair of ceramic plates and the electrode layer.
Cet ensemble céramique comprend une paire de plaques de céramique et une couche d'électrode interposée entre la paire de plaques de céramique, la couche d'électrode étant enterrée dans au moins une plaque de la paire de plaques de céramique ; et au niveau d'un bord extérieur de la couche d'électrode, la surface de jonction entre la ou les plaques de la paire de plaques de céramique et la couche d'électrode étant inclinée par rapport au sens de l'épaisseur de la paire de plaques de céramique et de la couche d'électrode.
一対のセラミックス板と、一対のセラミックス板の間に介在する電極層と、を備え、電極層は、一対のセラミックス板の少なくとも一方に埋設され、電極層の外縁において、一対のセラミックス板の少なくとも一方と電極層との接合面が、一対のセラミックス板及び電極層の厚さ方向に対して傾きを有する、セラミックス接合体。
CERAMIC ASSEMBLY, ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC ASSEMBLY
This ceramic assembly comprises a pair of ceramic plates and an electrode layer interposed between the pair of ceramic plates, wherein: the electrode layer is buried in at least one of the pair of ceramic plates; and at an outer edge of the electrode layer, the joint surface between the at least one of the pair of ceramic plates and the electrode layer is tilted with respect to the thickness direction of the pair of ceramic plates and the electrode layer.
Cet ensemble céramique comprend une paire de plaques de céramique et une couche d'électrode interposée entre la paire de plaques de céramique, la couche d'électrode étant enterrée dans au moins une plaque de la paire de plaques de céramique ; et au niveau d'un bord extérieur de la couche d'électrode, la surface de jonction entre la ou les plaques de la paire de plaques de céramique et la couche d'électrode étant inclinée par rapport au sens de l'épaisseur de la paire de plaques de céramique et de la couche d'électrode.
一対のセラミックス板と、一対のセラミックス板の間に介在する電極層と、を備え、電極層は、一対のセラミックス板の少なくとも一方に埋設され、電極層の外縁において、一対のセラミックス板の少なくとも一方と電極層との接合面が、一対のセラミックス板及び電極層の厚さ方向に対して傾きを有する、セラミックス接合体。
CERAMIC ASSEMBLY, ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC ASSEMBLY
ENSEMBLE CÉRAMIQUE, DISPOSITIF DE MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ENSEMBLE CÉRAMIQUE
セラミックス接合体、静電チャック装置、セラミックス接合体の製造方法
ARIKAWA JUN (Autor:in) / HIDAKA NOBUHIRO (Autor:in) / MIURA YUKIO (Autor:in)
28.04.2022
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
Ceramic Composition Electrostatic Chuck and Manufacturing Method of Electrostatic Chuck
Europäisches Patentamt | 2023
Ceramic Composition Electrostatic Chuck and Manufacturing Method of Electrostatic Chuck
| Europäisches Patentamt | 2017
CERAMIC SUBSTRATE, ELECTROSTATIC CHUCK, AND MANUFACTURING METHOD FOR ELECTROSTATIC CHUCK
| Europäisches Patentamt | 2021