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Verfahren zur Erzeugung von Schichten aus Siliciumcarbid
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung dünner Schichten aus Siliciumcarbid mittels einer kohlenstoff- und siliciumhaltigen Lösung oder Dispersion.
The invention relates to a method for producing thin layers of silicon carbide by means of a solution or dispersion containing carbon and silicon.
Verfahren zur Erzeugung von Schichten aus Siliciumcarbid
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung dünner Schichten aus Siliciumcarbid mittels einer kohlenstoff- und siliciumhaltigen Lösung oder Dispersion.
The invention relates to a method for producing thin layers of silicon carbide by means of a solution or dispersion containing carbon and silicon.
Verfahren zur Erzeugung von Schichten aus Siliciumcarbid
GREULICH-WEBER SIEGMUND (author) / SCHLEICHER-TAPPESER RÜDIGER (author)
2018-12-13
Patent
Electronic Resource
German
VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON SCHICHTEN AUS SILICIUMCARBID
| European Patent Office | 2020
VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON SCHICHTEN AUS SILICIUMCARBID
| European Patent Office | 2018
| European Patent Office | 2022
| European Patent Office | 2021
Verfahren zum Herstellen eines Siliciumcarbid-Sinterkörpers
| European Patent Office | 2018