A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON SCHICHTEN AUS SILICIUMCARBID
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung dünner Schichten aus Siliciumcarbid mittels einer kohlenstoff- und siliciumhaltigen Lösung oder Dispersion.
The invention relates to a method for producing thin layers of silicon carbide by means of a solution or dispersion containing carbon and silicon.
La présente invention concerne un procédé pour produire de minces couches de carbure de silicium au moyen d'une solution contenant du carbone et du silicium.
VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON SCHICHTEN AUS SILICIUMCARBID
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung dünner Schichten aus Siliciumcarbid mittels einer kohlenstoff- und siliciumhaltigen Lösung oder Dispersion.
The invention relates to a method for producing thin layers of silicon carbide by means of a solution or dispersion containing carbon and silicon.
La présente invention concerne un procédé pour produire de minces couches de carbure de silicium au moyen d'une solution contenant du carbone et du silicium.
VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON SCHICHTEN AUS SILICIUMCARBID
METHOD FOR PRODUCING LAYERS OF SILICON CARBIDE
PROCÉDÉ POUR PRODUIRE DES COUCHES DE CARBURE DE SILICIUM
GREULICH-WEBER SIEGMUND (author) / SCHLEICHER-TAPPESER RÜDIGER (author)
2018-12-13
Patent
Electronic Resource
German
VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON SCHICHTEN AUS SILICIUMCARBID
| European Patent Office | 2020
Verfahren zur Erzeugung von Schichten aus Siliciumcarbid
| European Patent Office | 2018
| European Patent Office | 2022
| European Patent Office | 2021
Verfahren zum Herstellen eines Siliciumcarbid-Sinterkörpers
| European Patent Office | 2018