A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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FERROELECTRIC CERAMIC, ELECTRONIC COMPONENT AND MANUFACTURING METHOD OF FERROELECTRIC CERAMIC
PROBLEM TO BE SOLVED: To improve piezoelectric characteristics.SOLUTION: A ferroelectric ceramic includes a Pb(ZrTi)Oseed crystal film 14 and a Pb(ZrTi)Ocrystal film 15 formed on a substrate film 13b. The seed crystal film 14 is formed by sputtering while the substrate film is arranged above a target and the substrate film faces the target. In the seed crystal film 14, a Zr/Ti ratio on a side closer to the crystal film 15 than the center thereof in a film thickness direction is larger than the Zr/Ti ratio on a side closer to the substrate film than the center thereof in a film thickness direction. The crystal film 15 is obtained by coating, heating and crystallizing a solution that contains a metal compound including the whole or a part of component metal of the crystal film 15 and a partial polycondensate thereof, in an organic solvent. B and x satisfy the following expressions 2, 3. 0.1
【課題】圧電特性を向上させることを課題とする。【解決手段】下地膜１３ｂ上に形成されたＰｂ（Ｚｒ１−ＢＴｉＢ）Ｏ３種結晶膜１４とＰｂ（Ｚｒ１−ｘＴｉｘ）Ｏ３結晶膜１５を具備し、種結晶膜１４は、前記下地膜をターゲットの上方に配置し、且つ前記下地膜をターゲットに対向させてスパッタリングにより形成したものであり、種結晶膜１４は、その膜厚方向の中央より結晶膜１５の側のＺｒ／Ｔｉ比が、その膜厚方向の中央より前記下地膜の側のＺｒ／Ｔｉ比より大きくなっており、結晶膜１５は、結晶膜１５の成分金属を全て或いは一部含む金属化合物と、その部分重縮合物を有機溶媒中に含有する溶液を塗布し、加熱して結晶化されたものであり、Ｂ及びｘは下記式２，式３を満たす強誘電体セラミックスである。 ０．１＜Ｂ＜１ ・・・式２、 ０．１＜ｘ＜１ ・・・式３【選択図】 図１
FERROELECTRIC CERAMIC, ELECTRONIC COMPONENT AND MANUFACTURING METHOD OF FERROELECTRIC CERAMIC
PROBLEM TO BE SOLVED: To improve piezoelectric characteristics.SOLUTION: A ferroelectric ceramic includes a Pb(ZrTi)Oseed crystal film 14 and a Pb(ZrTi)Ocrystal film 15 formed on a substrate film 13b. The seed crystal film 14 is formed by sputtering while the substrate film is arranged above a target and the substrate film faces the target. In the seed crystal film 14, a Zr/Ti ratio on a side closer to the crystal film 15 than the center thereof in a film thickness direction is larger than the Zr/Ti ratio on a side closer to the substrate film than the center thereof in a film thickness direction. The crystal film 15 is obtained by coating, heating and crystallizing a solution that contains a metal compound including the whole or a part of component metal of the crystal film 15 and a partial polycondensate thereof, in an organic solvent. B and x satisfy the following expressions 2, 3. 0.1
【課題】圧電特性を向上させることを課題とする。【解決手段】下地膜１３ｂ上に形成されたＰｂ（Ｚｒ１−ＢＴｉＢ）Ｏ３種結晶膜１４とＰｂ（Ｚｒ１−ｘＴｉｘ）Ｏ３結晶膜１５を具備し、種結晶膜１４は、前記下地膜をターゲットの上方に配置し、且つ前記下地膜をターゲットに対向させてスパッタリングにより形成したものであり、種結晶膜１４は、その膜厚方向の中央より結晶膜１５の側のＺｒ／Ｔｉ比が、その膜厚方向の中央より前記下地膜の側のＺｒ／Ｔｉ比より大きくなっており、結晶膜１５は、結晶膜１５の成分金属を全て或いは一部含む金属化合物と、その部分重縮合物を有機溶媒中に含有する溶液を塗布し、加熱して結晶化されたものであり、Ｂ及びｘは下記式２，式３を満たす強誘電体セラミックスである。 ０．１＜Ｂ＜１ ・・・式２、 ０．１＜ｘ＜１ ・・・式３【選択図】 図１
FERROELECTRIC CERAMIC, ELECTRONIC COMPONENT AND MANUFACTURING METHOD OF FERROELECTRIC CERAMIC
強誘電体セラミックス、電子部品及び強誘電体セラミックスの製造方法
KIJIMA TAKESHI (author)
2016-05-19
Patent
Electronic Resource
Japanese
METHOD FOR PRODUCING FERROELECTRIC CERAMIC, AND FERROELECTRIC CERAMIC
| European Patent Office | 2017
METHOD FOR PRODUCING FERROELECTRIC CERAMIC, AND FERROELECTRIC CERAMIC
| European Patent Office | 2019