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CERAMIC HEATER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance the uniformity of temperature distribution on the heating surface of a ceramic heater.SOLUTION: A ceramic heater 100 includes a heating element 110, an inner ceramic part 120 where the heating element 110 is embedded, and outer ceramic parts 130 arranged to sandwich the inner ceramic part 120. The inner ceramic part 120 is formed by sintering an inner ceramic member, and the outer ceramic parts 130 are formed by sintering outer ceramic members. Percentage contents of a sintering aid is differentiated between the inner ceramic member and outer ceramic members.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】セラミックヒータの加熱面の温度分布の均一性を向上させる。【解決手段】 セラミックヒータ100は、発熱体110と、発熱体110が埋設された内側セラミックス部120と、内側セラミックス部120を挟むように配置された外側セラミックス部130とを備える。内側セラミックス部120は、内側用セラミックス部材を焼結させることによって形成され、外側セラミックス部130は、外側用セラミックス部材を焼結させることによって形成されるが、内側用セラミックス部材と前記外側用セラミックス部材とで、焼結助剤の含有率が異なるようにする。【選択図】図2
CERAMIC HEATER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance the uniformity of temperature distribution on the heating surface of a ceramic heater.SOLUTION: A ceramic heater 100 includes a heating element 110, an inner ceramic part 120 where the heating element 110 is embedded, and outer ceramic parts 130 arranged to sandwich the inner ceramic part 120. The inner ceramic part 120 is formed by sintering an inner ceramic member, and the outer ceramic parts 130 are formed by sintering outer ceramic members. Percentage contents of a sintering aid is differentiated between the inner ceramic member and outer ceramic members.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】セラミックヒータの加熱面の温度分布の均一性を向上させる。【解決手段】 セラミックヒータ100は、発熱体110と、発熱体110が埋設された内側セラミックス部120と、内側セラミックス部120を挟むように配置された外側セラミックス部130とを備える。内側セラミックス部120は、内側用セラミックス部材を焼結させることによって形成され、外側セラミックス部130は、外側用セラミックス部材を焼結させることによって形成されるが、内側用セラミックス部材と前記外側用セラミックス部材とで、焼結助剤の含有率が異なるようにする。【選択図】図2
CERAMIC HEATER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
セラミックヒータ及びその製造方法
KUBOTA MASA (author) / OZAWA YUKIAKI (author)
2016-11-17
Patent
Electronic Resource
Japanese
DEVICE FOR MANUFACTURING CERAMIC HEATER, AND METHOD OF MANUFACTURING CERAMIC HEATER
European Patent Office | 2015
|European Patent Office | 2023
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