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CERAMIC HEATER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
To provide a ceramic heater with heater electrodes containing Mo embedded in a substrate containing ANI ceramic, in which volume resistivity of the heater electrodes is stabilized and resistance dispersion in the heater electrodes is reduced, and provide a method of manufacturing the ceramic heater.SOLUTION: A ceramic heater 100 comprises: a substrate 110 primarily made of AIN ceramic; and heater electrodes 120 primarily made of Mo2C and embedded in the substrate 110. The heater electrode 120 has a surface 122 on which an oxide layer 130 primarily made of Y2O3 or a rare earth oxide is formed.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】ＡｌＮセラミックスを含む基材にＭｏを含むヒーター用電極が埋設されてなるセラミックスヒーターにおいて、ヒーター用電極の体積抵抗率を安定化し、ヒーター用電極の抵抗のバラツキを低減したセラミックスヒーターおよびその製造方法を提供する。【解決手段】セラミックスヒーター１００であって、ＡｌＮセラミックスを主成分とする基材１１０と、Ｍｏ２Ｃを主成分とし、前記基材１１０に埋設されたヒーター用電極１２０と、を備え、前記ヒーター用電極１２０は、表面１２２にＹ２Ｏ３または希土類酸化物を主成分とする酸化物層１３０が形成されている。【選択図】図１
CERAMIC HEATER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
To provide a ceramic heater with heater electrodes containing Mo embedded in a substrate containing ANI ceramic, in which volume resistivity of the heater electrodes is stabilized and resistance dispersion in the heater electrodes is reduced, and provide a method of manufacturing the ceramic heater.SOLUTION: A ceramic heater 100 comprises: a substrate 110 primarily made of AIN ceramic; and heater electrodes 120 primarily made of Mo2C and embedded in the substrate 110. The heater electrode 120 has a surface 122 on which an oxide layer 130 primarily made of Y2O3 or a rare earth oxide is formed.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】ＡｌＮセラミックスを含む基材にＭｏを含むヒーター用電極が埋設されてなるセラミックスヒーターにおいて、ヒーター用電極の体積抵抗率を安定化し、ヒーター用電極の抵抗のバラツキを低減したセラミックスヒーターおよびその製造方法を提供する。【解決手段】セラミックスヒーター１００であって、ＡｌＮセラミックスを主成分とする基材１１０と、Ｍｏ２Ｃを主成分とし、前記基材１１０に埋設されたヒーター用電極１２０と、を備え、前記ヒーター用電極１２０は、表面１２２にＹ２Ｏ３または希土類酸化物を主成分とする酸化物層１３０が形成されている。【選択図】図１
CERAMIC HEATER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
セラミックスヒーター、およびその製造方法
OKI KEISUKE (author) / JIN KOSUKE (author)
2024-02-16
Patent
Electronic Resource
Japanese
DEVICE FOR MANUFACTURING CERAMIC HEATER, AND METHOD OF MANUFACTURING CERAMIC HEATER
| European Patent Office | 2015
| European Patent Office | 2023