A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
PIEZOELECTRIC ELEMENT, PIEZOELECTRIC ACTUATOR AND ELECTRONIC APPARATUS
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lead-free piezoelectric element having good and stable piezoelectric characteristics in the piezoelectric element category temperature range.SOLUTION: In a piezoelectric element provided with a substrate, a first electrode, a piezoelectric film, and a second electrode, the piezoelectric film contains titanate zirconate barium, manganese, and bismuth charge disproportionated to trivalent and pentavalent. The mole ratio x of zirconium to the sum of zirconium and titanium is 0.02≤x≤0.13, the content of manganese is 0.002-0.015 mole for 1 mole of the titanate zirconate barium, and the content of bismuth is 0.00042-0.00850 mole for 1 mole of the metal oxide.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】圧電素子使用温度範囲において良好で安定した圧電特性を有する鉛を含有しない圧電素子を提供する。【解決手段】基板、第一の電極、圧電膜、および第二の電極が設けられた圧電素子であって、前記圧電膜はチタン酸ジルコン酸バリウムと、マンガンと、３価と５価に電荷不均化したビスマスとを含有し、ジルコニウムとチタンの和に対するジルコニウムのモル比であるｘの値が、０．０２≦ｘ≦０．１３であり、前記マンガンの含有量は前記チタン酸ジルコン酸バリウム１モルに対して０．００２モル以上０．０１５モル以下、前記ビスマスの含有量が前記金属酸化物１モルに対して０．０００４２モル以上０．００８５０モル以下であることを特徴とする圧電素子。【選択図】 図１
PIEZOELECTRIC ELEMENT, PIEZOELECTRIC ACTUATOR AND ELECTRONIC APPARATUS
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lead-free piezoelectric element having good and stable piezoelectric characteristics in the piezoelectric element category temperature range.SOLUTION: In a piezoelectric element provided with a substrate, a first electrode, a piezoelectric film, and a second electrode, the piezoelectric film contains titanate zirconate barium, manganese, and bismuth charge disproportionated to trivalent and pentavalent. The mole ratio x of zirconium to the sum of zirconium and titanium is 0.02≤x≤0.13, the content of manganese is 0.002-0.015 mole for 1 mole of the titanate zirconate barium, and the content of bismuth is 0.00042-0.00850 mole for 1 mole of the metal oxide.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】圧電素子使用温度範囲において良好で安定した圧電特性を有する鉛を含有しない圧電素子を提供する。【解決手段】基板、第一の電極、圧電膜、および第二の電極が設けられた圧電素子であって、前記圧電膜はチタン酸ジルコン酸バリウムと、マンガンと、３価と５価に電荷不均化したビスマスとを含有し、ジルコニウムとチタンの和に対するジルコニウムのモル比であるｘの値が、０．０２≦ｘ≦０．１３であり、前記マンガンの含有量は前記チタン酸ジルコン酸バリウム１モルに対して０．００２モル以上０．０１５モル以下、前記ビスマスの含有量が前記金属酸化物１モルに対して０．０００４２モル以上０．００８５０モル以下であることを特徴とする圧電素子。【選択図】 図１
PIEZOELECTRIC ELEMENT, PIEZOELECTRIC ACTUATOR AND ELECTRONIC APPARATUS
圧電素子、圧電アクチュエータおよび電子機器
MATSUDA KATAYOSHI (author) / KUBOTA JUN (author) / MIURA KAORU (author)
2017-06-15
Patent
Electronic Resource
Japanese
IPC:
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
/
A61B
DIAGNOSIS
,
Diagnostik
/
B06B
GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
,
Erzeugen oder Übertragen mechanischer Schwingungen allgemein
/
B41J
TYPEWRITERS
,
Schreibmaschinen
/
B81B
Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
,
MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
G01C
Messen von Entfernungen, Höhen, Neigungen oder Richtungen
,
MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS
/
G02B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
,
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
/
G03B
APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM
,
Geräte oder Anordnungen zum Aufnehmen, Projizieren oder Betrachten von Fotografien
/
H03H
IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS
,
Scheinwiderstandsnetzwerke, z.B. Resonanzkreise
/
H04R
LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS
,
Lautsprecher, Mikrofone, Schallplatten-Tonabnehmer oder ähnliche akustische, elektromechanische Wandler
PIEZOELECTRIC ELEMENT, PIEZOELECTRIC ACTUATOR AND ELECTRONIC APPARATUS
| European Patent Office | 2017
| European Patent Office | 2017
PIEZOELECTRIC ELEMENT, PIEZOELECTRIC ACTUATOR AND ELECTRONIC APPARATUS USING THEM
| European Patent Office | 2017
PIEZOELECTRIC MATERIAL, PIEZOELECTRIC ELEMENT, AND ELECTRONIC APPARATUS
| European Patent Office | 2018
Piezoelectric material, piezoelectric element, and electronic apparatus
| European Patent Office | 2017