A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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NbO2 NbO2 NbO2 SINTERED BODY SPUTTERING TARGET COMPRISING SINTERED BODY AND METHOD OF PRODUCING NbO2 SINTERED BODY
본 발명은 NbO의 (400) 면으로부터의 X 선 회절 피크 강도에 대한, NbO의 (001) 면 혹은 (110) 면으로부터의 X 선 회절 피크 강도의 강도비가 1 ％ 이하인 것을 특징으로 하는 NbO소결체에 관한 것이다. 고가인 NbO원료를 사용하지 않고, ReRAM 용의 고품질인 저항 변화층을 형성하기 위한 스퍼터링 타깃에 적용할 수 있는 NbO소결체를 제공하는 것이다. 특히, 스퍼터링 안정화에 적합한, 고밀도이며 단상의 NbO소결체를 제공하는 것을 과제로 한다.
NbO2 NbO2 NbO2 SINTERED BODY SPUTTERING TARGET COMPRISING SINTERED BODY AND METHOD OF PRODUCING NbO2 SINTERED BODY
본 발명은 NbO의 (400) 면으로부터의 X 선 회절 피크 강도에 대한, NbO의 (001) 면 혹은 (110) 면으로부터의 X 선 회절 피크 강도의 강도비가 1 ％ 이하인 것을 특징으로 하는 NbO소결체에 관한 것이다. 고가인 NbO원료를 사용하지 않고, ReRAM 용의 고품질인 저항 변화층을 형성하기 위한 스퍼터링 타깃에 적용할 수 있는 NbO소결체를 제공하는 것이다. 특히, 스퍼터링 안정화에 적합한, 고밀도이며 단상의 NbO소결체를 제공하는 것을 과제로 한다.
NbO2 NbO2 NbO2 SINTERED BODY SPUTTERING TARGET COMPRISING SINTERED BODY AND METHOD OF PRODUCING NbO2 SINTERED BODY
NbO2 소결체 및 그 소결체로 이루어지는 스퍼터링 타깃 그리고 NbO2 소결체의 제조 방법
2017-02-06
Patent
Electronic Resource
Korean
| European Patent Office | 2019
| European Patent Office | 2015
OXIDE SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET COMPRISING OXIDE SINTERED BODY
European Patent Office | 2018
OXIDE SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET COMPRISING OXIDE SINTERED BODY
| European Patent Office | 2017
OXIDE SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET COMPRISING OXIDE SINTERED BODY
| European Patent Office | 2016