A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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APPARATUS FOR TESTING SEMICONDUCTOR COMPONENT
본 발명에 따른 반도체 부품 열처리 장치는 열처리장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재, 상기 챔버부재의 전면에 설치되는 도어부재를 포함하며, 상기 도어부재는 상기 챔버부재의 전방을 폐쇄하기 위한 도어본체부와, 상기 도어본체부에 결합되어 상기 도어본체부를 수평 방향으로 좌우 이동시키기 위한 좌우이동실린더와, 상기 좌우이동실린더를 지지하기 위한 좌우이동실린더지지프레임과, 상기 좌우이동실린더지지프레임을 전후 방향으로 이동시키기 위한 전후이동실린더와, 상기 전후이동실린더를 지지하기 위한 전후이동실린더지지프레임를 포함하며, 상기 전후이동실린더와 전후이동실린더지지프레임은 상기 도어본체부의 양 측부에 배치되며, 상기 챔버부재에는 좌우 방향으로 나란히 한쌍의 열처리공간이 형성되되, 상기 한쌍의 열처리공간 전방에 각각 상기 도어부재가 설치되며, 상기 열처리공간의 양 측부에는 상기 전후이동실린더지지프레임과 전후이동실린더를 수용하기 위한 수용공간이 형성되어, 상기 전후이동실린더와 전후이동실린더지지프레임은 상기 수용공간 내에 배치되고, 상기 도어본체부는 상기 챔버부재에 대해 전후 방향과 좌우 방향으로 이동되도록 구성되되, 좌우로 배치되는 도어본체부 중 어느 하나가 상기 열처리공간을 개방하는 위치로 이동되는 경우, 나머지 하나의 도어본체부 전방에 배치되도록 구성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의해, 테스트 장치의 도어 개방을 위한 별도의 면적이 요구되지 않아, 공간을 효율적으로 이용할 수 있다. 또한, 도어가 테스트 장치의 외측으로 돌출되지 않으므로, 현장 작업자들의 부상을 방지할 수 있으며, 제어신호 인가를 통해 도어 개폐를 자동화하기에 유리하다.
APPARATUS FOR TESTING SEMICONDUCTOR COMPONENT
본 발명에 따른 반도체 부품 열처리 장치는 열처리장치의 전체 외관을 구성하는 챔버부재, 상기 챔버부재의 전면에 설치되는 도어부재를 포함하며, 상기 도어부재는 상기 챔버부재의 전방을 폐쇄하기 위한 도어본체부와, 상기 도어본체부에 결합되어 상기 도어본체부를 수평 방향으로 좌우 이동시키기 위한 좌우이동실린더와, 상기 좌우이동실린더를 지지하기 위한 좌우이동실린더지지프레임과, 상기 좌우이동실린더지지프레임을 전후 방향으로 이동시키기 위한 전후이동실린더와, 상기 전후이동실린더를 지지하기 위한 전후이동실린더지지프레임를 포함하며, 상기 전후이동실린더와 전후이동실린더지지프레임은 상기 도어본체부의 양 측부에 배치되며, 상기 챔버부재에는 좌우 방향으로 나란히 한쌍의 열처리공간이 형성되되, 상기 한쌍의 열처리공간 전방에 각각 상기 도어부재가 설치되며, 상기 열처리공간의 양 측부에는 상기 전후이동실린더지지프레임과 전후이동실린더를 수용하기 위한 수용공간이 형성되어, 상기 전후이동실린더와 전후이동실린더지지프레임은 상기 수용공간 내에 배치되고, 상기 도어본체부는 상기 챔버부재에 대해 전후 방향과 좌우 방향으로 이동되도록 구성되되, 좌우로 배치되는 도어본체부 중 어느 하나가 상기 열처리공간을 개방하는 위치로 이동되는 경우, 나머지 하나의 도어본체부 전방에 배치되도록 구성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의해, 테스트 장치의 도어 개방을 위한 별도의 면적이 요구되지 않아, 공간을 효율적으로 이용할 수 있다. 또한, 도어가 테스트 장치의 외측으로 돌출되지 않으므로, 현장 작업자들의 부상을 방지할 수 있으며, 제어신호 인가를 통해 도어 개폐를 자동화하기에 유리하다.
APPARATUS FOR TESTING SEMICONDUCTOR COMPONENT
반도체 부품 테스트 장치
2019-04-03
Patent
Electronic Resource
Korean
SINTERED BODY, AND COMPONENT FOR SEMICONDUCTOR-MANUFACTURING APPARATUS
| European Patent Office | 2023
SINTERED BODY, AND COMPONENT FOR SEMICONDUCTOR-MANUFACTURING APPARATUS
| European Patent Office | 2023
Composite ceramics and a component member for semiconductor manufacturing apparatus
European Patent Office | 2019