A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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Composite ceramics and a component member for semiconductor manufacturing apparatus
내부식성(플라즈마 내성)과 기계적 강도를 양립한 세라믹 재료를 얻는다. MgO, YAP(YAlO), 스피넬(MgAlO)의 3상을 가진 복합 세라믹이다. 이 복합 세라믹은 알루미나보다 높고 MgO와 동일한 정도의 플라즈마 내성을 가지고 있다. 싱기 복합 세라믹의 경도나 구부림 강도 등의 기계적 특성은 AlO와 같은 정도이거나 우수하다. 원료 가격 및 제조 비용은 희토류 산화물보다 낮다. 또한 도전성 입자를 첨가함으로써 전기 저항율을 낮출 수 있다. 이러한 복합 세라믹은 특히 반도체 제조장치의 구성 부재에 사용하기 적합하다.
Composite ceramics and a component member for semiconductor manufacturing apparatus
내부식성(플라즈마 내성)과 기계적 강도를 양립한 세라믹 재료를 얻는다. MgO, YAP(YAlO), 스피넬(MgAlO)의 3상을 가진 복합 세라믹이다. 이 복합 세라믹은 알루미나보다 높고 MgO와 동일한 정도의 플라즈마 내성을 가지고 있다. 싱기 복합 세라믹의 경도나 구부림 강도 등의 기계적 특성은 AlO와 같은 정도이거나 우수하다. 원료 가격 및 제조 비용은 희토류 산화물보다 낮다. 또한 도전성 입자를 첨가함으로써 전기 저항율을 낮출 수 있다. 이러한 복합 세라믹은 특히 반도체 제조장치의 구성 부재에 사용하기 적합하다.
Composite ceramics and a component member for semiconductor manufacturing apparatus
복합 세라믹 및 반도체 제조장치의 구성 부재
2019-10-31
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
Composite ceramic body, and component member for semiconductor manufacturing apparatus
| European Patent Office | 2015
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS MEMBER AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
| European Patent Office | 2022
| European Patent Office | 2017
European Patent Office | 2023