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- Manufacturing method of plasma resistant and conductive ceramic-nanocarbon composite
본 발명은, 세라믹이 매트릭스(matrix)를 이루고, 금속산화물로 코팅된 나노카본이 상기 매트릭스 내에 분산되어 있으며, 상기 금속산화물은 MgO 및 ZrO로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하고, 상기 세라믹은 AlO, ZrO, AlN, SiC 및 SiN로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 전도성 세라믹-나노카본 복합체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 세라믹-나노카본 복합체에 의하면, 전도성이 우수하지만 플라즈마 환경에 취약한 나노카본의 표면에 내플라즈마성 산화물이 코팅되어 있으므로 내플라즈마성과 전도성을 갖는다.
- Manufacturing method of plasma resistant and conductive ceramic-nanocarbon composite
본 발명은, 세라믹이 매트릭스(matrix)를 이루고, 금속산화물로 코팅된 나노카본이 상기 매트릭스 내에 분산되어 있으며, 상기 금속산화물은 MgO 및 ZrO로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하고, 상기 세라믹은 AlO, ZrO, AlN, SiC 및 SiN로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 전도성 세라믹-나노카본 복합체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 세라믹-나노카본 복합체에 의하면, 전도성이 우수하지만 플라즈마 환경에 취약한 나노카본의 표면에 내플라즈마성 산화물이 코팅되어 있으므로 내플라즈마성과 전도성을 갖는다.
- Manufacturing method of plasma resistant and conductive ceramic-nanocarbon composite
내플라즈마성 전도성 세라믹-나노카본 복합체의 제조방법
2019-04-22
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
- Plasma resistant and conductive ceramic-nanocarbon composite and manufacturing method of the same
European Patent Office | 2018
|High surface area, electrically conductive nanocarbon-supported metal oxide
European Patent Office | 2015
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