A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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- Plasma resistant and conductive ceramic-nanocarbon composite and manufacturing method of the same
The present invention relates to a plasma resistant and conductive ceramic-nanocarbon composite and a manufacturing method thereof. According to the plasma resistant and conductive ceramic-nanocarbon composite, ceramic forms a matrix and nanocarbon coated with a metal oxide is dispersed in the matrix. The metal oxide comprises at least one material selected from the group consisting of MgO and ZrO_2. The ceramic comprises at least one material selected from the group consisting of Al_2O_3, ZrO_2, AlN, SiC, and Si_3N_4. Since a plasma resistant oxide is coated on the surface of the nanocarbon which is excellent in the conductivity but vulnerable to plasma environment, the ceramic-nanocarbon composite of the present invention has plasma resistance and conductivity.
본 발명은, 세라믹이 매트릭스(matrix)를 이루고, 금속산화물로 코팅된 나노카본이 상기 매트릭스 내에 분산되어 있으며, 상기 금속산화물은 MgO 및 ZrO로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하고, 상기 세라믹은 AlO, ZrO, AlN, SiC 및 SiN로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 전도성 세라믹-나노카본 복합체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 세라믹-나노카본 복합체에 의하면, 전도성이 우수하지만 플라즈마 환경에 취약한 나노카본의 표면에 내플라즈마성 산화물이 코팅되어 있으므로 내플라즈마성과 전도성을 갖는다.
- Plasma resistant and conductive ceramic-nanocarbon composite and manufacturing method of the same
The present invention relates to a plasma resistant and conductive ceramic-nanocarbon composite and a manufacturing method thereof. According to the plasma resistant and conductive ceramic-nanocarbon composite, ceramic forms a matrix and nanocarbon coated with a metal oxide is dispersed in the matrix. The metal oxide comprises at least one material selected from the group consisting of MgO and ZrO_2. The ceramic comprises at least one material selected from the group consisting of Al_2O_3, ZrO_2, AlN, SiC, and Si_3N_4. Since a plasma resistant oxide is coated on the surface of the nanocarbon which is excellent in the conductivity but vulnerable to plasma environment, the ceramic-nanocarbon composite of the present invention has plasma resistance and conductivity.
본 발명은, 세라믹이 매트릭스(matrix)를 이루고, 금속산화물로 코팅된 나노카본이 상기 매트릭스 내에 분산되어 있으며, 상기 금속산화물은 MgO 및 ZrO로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하고, 상기 세라믹은 AlO, ZrO, AlN, SiC 및 SiN로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마성 전도성 세라믹-나노카본 복합체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 세라믹-나노카본 복합체에 의하면, 전도성이 우수하지만 플라즈마 환경에 취약한 나노카본의 표면에 내플라즈마성 산화물이 코팅되어 있으므로 내플라즈마성과 전도성을 갖는다.
- Plasma resistant and conductive ceramic-nanocarbon composite and manufacturing method of the same
내플라즈마성 전도성 세라믹-나노카본 복합체 및 그 제조방법
KIM BYUNG HAK (author) / BAIK SEUNG WOO (author) / CHOI JUNE BEOM (author) / KIM IN WOONG (author) / JUNG JONG YEOL (author)
2018-12-03
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
- Manufacturing method of plasma resistant and conductive ceramic-nanocarbon composite
European Patent Office | 2019
PLASMA-RESISTANT CERAMIC SUBSTRATE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
| European Patent Office | 2024