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RC RC High damping reinforced concrete grid beam and high damping reinforced concrete grid beam structure using it
본 발명은 특히 진동 전달이 대폭 감쇠될 수 있는 RC 격자보에 관한 것으로서, RC 격자보를 이루는 콘크리트가 폴리머가 첨가된 폴리머콘크리트로 이루어짐으로써, 종래의 격자보의 춤을 그대로 유지하면서도 노광장비에 미치는 미세진동을 효과적으로 감쇄시킬 수 있어, 불량률을 감소시킴으로써 반도체 생산성을 향상시킬 수 있게 되어 정밀한 노광장비의 성능을 극대화시키는 고감쇠 RC 격자보를 제공하고자 한다.
RC RC High damping reinforced concrete grid beam and high damping reinforced concrete grid beam structure using it
본 발명은 특히 진동 전달이 대폭 감쇠될 수 있는 RC 격자보에 관한 것으로서, RC 격자보를 이루는 콘크리트가 폴리머가 첨가된 폴리머콘크리트로 이루어짐으로써, 종래의 격자보의 춤을 그대로 유지하면서도 노광장비에 미치는 미세진동을 효과적으로 감쇄시킬 수 있어, 불량률을 감소시킴으로써 반도체 생산성을 향상시킬 수 있게 되어 정밀한 노광장비의 성능을 극대화시키는 고감쇠 RC 격자보를 제공하고자 한다.
RC RC High damping reinforced concrete grid beam and high damping reinforced concrete grid beam structure using it
고감쇠 RC 격자보 및 이를 이용한 고감쇠 RC 격자보 구조물
2019-08-21
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
E04B
Allgemeine Baukonstruktionen
,
GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS
European Patent Office | 2019
|High-damping reinforced concrete (RC) lattice beam and substructure using same
European Patent Office | 2020
|Seismic energy dissipation in reinforced concrete beam: investigating damping formulations
Taylor & Francis Verlag | 2022
|Damping beam structure based on rubber concrete damping layer
European Patent Office | 2021
|Hysteretic damping of reinforced concrete elements
British Library Conference Proceedings | 1996
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