A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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CERAMICS MATERIAL METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND MEMBER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
본 발명의 세라믹스 재료는, 제2족 원소 M과 희토류 원소 RE의 복합 산화물의 결정상을 포함하고, 제2족 원소 M은 Sr, Ca 또는 Ba이고, XRD 차트에 있어서 MRE2O4의 (040)면의 피크와 (320)면의 피크 사이에 제1 신규 피크가 관찰되는 것이다. 이러한 세라믹스 재료는, 예컨대, 용사용 원료로서 MRE2O4를 준비하고, 상기 용사용 원료를 미리 정해진 대상물에 용사함으로써 제조할 수 있다.
The ceramic material of the present invention contains a crystalline phase of a complex oxide containing a Group II element M and a rare earth element RE. The Group II element M is Sr, Ca, or Ba. An XRD diagram of the ceramic material shows a first new peak between peaks derived from the (040) plane and the (320) plane of MRE2O4. Such a ceramic material may be manufactured by, for example, preparing a material containing MRE2O4 or a material capable of reacting in thermal spray flame to produce MRE2O4 as a thermal spray material, and thermally spraying the thermal spray material onto a predetermined object.
CERAMICS MATERIAL METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND MEMBER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
본 발명의 세라믹스 재료는, 제2족 원소 M과 희토류 원소 RE의 복합 산화물의 결정상을 포함하고, 제2족 원소 M은 Sr, Ca 또는 Ba이고, XRD 차트에 있어서 MRE2O4의 (040)면의 피크와 (320)면의 피크 사이에 제1 신규 피크가 관찰되는 것이다. 이러한 세라믹스 재료는, 예컨대, 용사용 원료로서 MRE2O4를 준비하고, 상기 용사용 원료를 미리 정해진 대상물에 용사함으로써 제조할 수 있다.
The ceramic material of the present invention contains a crystalline phase of a complex oxide containing a Group II element M and a rare earth element RE. The Group II element M is Sr, Ca, or Ba. An XRD diagram of the ceramic material shows a first new peak between peaks derived from the (040) plane and the (320) plane of MRE2O4. Such a ceramic material may be manufactured by, for example, preparing a material containing MRE2O4 or a material capable of reacting in thermal spray flame to produce MRE2O4 as a thermal spray material, and thermally spraying the thermal spray material onto a predetermined object.
CERAMICS MATERIAL METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND MEMBER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
세라믹스 재료, 그 제조 방법 및 반도체 제조 장치용 부재
2023-12-26
Patent
Electronic Resource
Korean
| European Patent Office | 2017
| European Patent Office | 2018
| European Patent Office | 2017
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS MEMBER AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
| European Patent Office | 2022
Composite ceramics and a component member for semiconductor manufacturing apparatus
European Patent Office | 2019