A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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Aluminum nitride based crucible and method for manufacturing same
본 발명은 a) 질화알루미늄 분말 및 산화이트륨(Y2O3) 분말을 포함하는 원료분말을 성형하여 성형체를 제조하는 단계; b) 상기 성형체를 소결하여 질화알루미늄계 세라믹 모재를 제조하는 단계; 및 c) 상기 모재를 붕소(B) 원료가스 또는 탄소(C) 원료가스 분위기에서 열처리하여 상기 모재에 붕소(B) 또는 탄소(C)를 침투시키는 단계;를 포함하는 질화알루미늄계 도가니의 제조방법, 및 이로부터 제조된 질화알루미늄계 도가니에 관한 것이다.
Aluminum nitride based crucible and method for manufacturing same
본 발명은 a) 질화알루미늄 분말 및 산화이트륨(Y2O3) 분말을 포함하는 원료분말을 성형하여 성형체를 제조하는 단계; b) 상기 성형체를 소결하여 질화알루미늄계 세라믹 모재를 제조하는 단계; 및 c) 상기 모재를 붕소(B) 원료가스 또는 탄소(C) 원료가스 분위기에서 열처리하여 상기 모재에 붕소(B) 또는 탄소(C)를 침투시키는 단계;를 포함하는 질화알루미늄계 도가니의 제조방법, 및 이로부터 제조된 질화알루미늄계 도가니에 관한 것이다.
Aluminum nitride based crucible and method for manufacturing same
질화알루미늄계 도가니 및 이의 제조방법
2021-11-03
Patent
Electronic Resource
Korean
Aluminum nitride based crucible and method for manufacturing same
| European Patent Office | 2021
Manufacturing method of aluminum nitride using porous carbon crucible
European Patent Office | 2022
Manufacturing method of aluminum nitride using porous carbon crucible
| European Patent Office | 2021
Molecular beam epitaxy aluminum nitride ceramic crucible and manufacturing method thereof
| European Patent Office | 2023