A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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산화물 소결체, 스퍼터링 타깃 및 산화물 반도체막
In 원소, Zn 원소, Sn 원소 및 Y 원소를 함유하는 산화물을 함유하고, 소결체 밀도가 이론 밀도의 100.00 ％ 이상인 것을 특징으로 하는 산화물 소결체.
An oxide sintered body is characterized in that it comprises an oxide including an In element, a Zn element, a Sn element and a Y element and that a sintered body density is equal to or more than 100.00% of a theoretical density.
산화물 소결체, 스퍼터링 타깃 및 산화물 반도체막
In 원소, Zn 원소, Sn 원소 및 Y 원소를 함유하는 산화물을 함유하고, 소결체 밀도가 이론 밀도의 100.00 ％ 이상인 것을 특징으로 하는 산화물 소결체.
An oxide sintered body is characterized in that it comprises an oxide including an In element, a Zn element, a Sn element and a Y element and that a sintered body density is equal to or more than 100.00% of a theoretical density.
산화물 소결체, 스퍼터링 타깃 및 산화물 반도체막
2022-04-01
Patent
Electronic Resource
Korean