A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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스퍼터링 타깃 및 스퍼터링 타깃의 제조방법
길고, 원통형이라 하더라도, 파티클, 이상방전이 억제되는 스퍼터링 타깃을 제공한다. 스퍼터링 타깃에서, 타깃 본체는 튜브상의 백킹 튜브 외주면을 따르도록 병설되어 원호상의 단면을 가지는 복수의 타깃 부재를 포함한다. 복수의 타깃 부재의 각각은 백킹 튜브의 중심축 주위에 이간하도록 배치된다. 중심축 주위에 늘어서는 타깃 부재 사이에 형성되는 간극은 백킹 튜브의 중심축 방향으로 연장된다. 접합재는 백킹 튜브와 타깃 본체 사이에 삽입 설치되고, 백킹 튜브와 복수의 타깃 부재의 각각을 접합한다. 차폐 부재는 접합재와 타깃 본체 사이에 설치되고, 간극을 접합재의 측으로부터 차폐한다.
[Problem] To provide a sputtering target with which particles and abnormal discharge can be suppressed even if the sputtering target is long and cylindrical. [Solution] A sputtering target, wherein a target body comprises a plurality of target members that are arranged along the outer circumferential surface of a cylindrical backing tube, and that have a circular arc-shaped cross section. The plurality of target members are each disposed so as to be separated from each other around a central axis of the backing tube. A gap that is formed between the target members which are aligned around the central axis extends in the central axis direction of the backing tube. A bonding material is interposed between the backing tube and the target body so as to bond the backing tube and the plurality of target members to each other. A shielding member is provided between the bonding material and the target body so as to shield the gap from the bonding material side.
스퍼터링 타깃 및 스퍼터링 타깃의 제조방법
길고, 원통형이라 하더라도, 파티클, 이상방전이 억제되는 스퍼터링 타깃을 제공한다. 스퍼터링 타깃에서, 타깃 본체는 튜브상의 백킹 튜브 외주면을 따르도록 병설되어 원호상의 단면을 가지는 복수의 타깃 부재를 포함한다. 복수의 타깃 부재의 각각은 백킹 튜브의 중심축 주위에 이간하도록 배치된다. 중심축 주위에 늘어서는 타깃 부재 사이에 형성되는 간극은 백킹 튜브의 중심축 방향으로 연장된다. 접합재는 백킹 튜브와 타깃 본체 사이에 삽입 설치되고, 백킹 튜브와 복수의 타깃 부재의 각각을 접합한다. 차폐 부재는 접합재와 타깃 본체 사이에 설치되고, 간극을 접합재의 측으로부터 차폐한다.
[Problem] To provide a sputtering target with which particles and abnormal discharge can be suppressed even if the sputtering target is long and cylindrical. [Solution] A sputtering target, wherein a target body comprises a plurality of target members that are arranged along the outer circumferential surface of a cylindrical backing tube, and that have a circular arc-shaped cross section. The plurality of target members are each disposed so as to be separated from each other around a central axis of the backing tube. A gap that is formed between the target members which are aligned around the central axis extends in the central axis direction of the backing tube. A bonding material is interposed between the backing tube and the target body so as to bond the backing tube and the plurality of target members to each other. A shielding member is provided between the bonding material and the target body so as to shield the gap from the bonding material side.
스퍼터링 타깃 및 스퍼터링 타깃의 제조방법
2022-08-03
Patent
Electronic Resource
Korean