A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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Plasma resistant ceramic substrate and manufacturing method of the same
The present invention relates a plasma-resistant ceramic substrate and a manufacturing method therefor. The ceramic substrate comprises: a bulk of an oxide composition; and a surface layer in which components of the oxide composition constituting the bulk are modified to have a composition including one or more anions selected from the group consisting of F^- and Cl^-, wherein the surface layer is a layer modified to have a composition including one or more anions selected from the group consisting of F^- and Cl^-, by heating a raw material including one or more anions selected from the group consisting of F^- and Cl^-, to be vaporized and adsorbed onto the surface of the ceramic substrate. According to the present invention, the plasma-resistant characteristics and durability of the ceramic substrate may be improved at low costs.
본 발명은, 산화물 조성의 벌크; 및 상기 벌크를 구성하는 산화물 조성 성분이 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 포함하는 조성으로 개질된 표면층;을 포함하는 세라믹 기판으로서, 상기 표면층은 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 함유하는 원료가 가열에 의해 기화되어 상기 세라믹 기판의 표면에 흡착되어 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 포함하는 조성으로 개질된 층인 것을 특징으로 하는 내플라즈마 세라믹 기판 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 세라믹 기판의 내플라즈마 특성, 내구성을 저비용으로 개선할 수 있다.
Plasma resistant ceramic substrate and manufacturing method of the same
The present invention relates a plasma-resistant ceramic substrate and a manufacturing method therefor. The ceramic substrate comprises: a bulk of an oxide composition; and a surface layer in which components of the oxide composition constituting the bulk are modified to have a composition including one or more anions selected from the group consisting of F^- and Cl^-, wherein the surface layer is a layer modified to have a composition including one or more anions selected from the group consisting of F^- and Cl^-, by heating a raw material including one or more anions selected from the group consisting of F^- and Cl^-, to be vaporized and adsorbed onto the surface of the ceramic substrate. According to the present invention, the plasma-resistant characteristics and durability of the ceramic substrate may be improved at low costs.
본 발명은, 산화물 조성의 벌크; 및 상기 벌크를 구성하는 산화물 조성 성분이 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 포함하는 조성으로 개질된 표면층;을 포함하는 세라믹 기판으로서, 상기 표면층은 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 함유하는 원료가 가열에 의해 기화되어 상기 세라믹 기판의 표면에 흡착되어 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 포함하는 조성으로 개질된 층인 것을 특징으로 하는 내플라즈마 세라믹 기판 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 세라믹 기판의 내플라즈마 특성, 내구성을 저비용으로 개선할 수 있다.
Plasma resistant ceramic substrate and manufacturing method of the same
내플라즈마 세라믹 기판 및 그 제조방법
LEE SUNG MIN (author) / OH YOON SUK (author) / KIM HYEONG JUN (author) / OH GYUSANG (author)
2022-04-25
Patent
Electronic Resource
Korean
PLASMA-RESISTANT CERAMIC SUBSTRATE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
| European Patent Office | 2024
PLASMA-RESISTANT CERAMIC SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
| European Patent Office | 2022
PLASMA RESISTANT CERAMIC MEMBER AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME
| European Patent Office | 2023
Plasma resistant ceramic member and manufacturing method of the same
European Patent Office | 2024
Plasma resistant ceramic member and manufacturing method of the same
| European Patent Office | 2023