A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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Plasma resistant ceramic member and manufacturing method of the same
본 발명은, 기판; 및 상기 기판 상부에 형성된 세라믹 코팅층을 포함하는 세라믹 부재로서, 상기 세라믹 코팅층은, 상기 기판 상부에 형성된 산화물 조성의 하부층; 및 상기 세라믹 코팅층의 표면을 구성하는 산화물 조성 성분이 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 포함하는 조성으로 표면개질된 표면층;을 포함하고, 상기 표면층은 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 함유하는 원료가 가열에 의해 기화되어 상기 세라믹 코팅층의 표면에 흡착되어 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 포함하는 조성으로 개질된 층인 것을 특징으로 하는 내플라즈마 세라믹 부재 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 세라믹 부재의 내플라즈마 특성, 내구성, 식각공정 안정성을 저비용으로 개선할 수 있다.
The present invention provides a plasma-resistant ceramic member, which includes a substrate and a ceramic coating layer formed on the substrate, in which the ceramic coating layer includes a lower layer consisting of an oxide formed on the substrate, and a surface layer in which an oxide composition component constituting the surface of the ceramic coating layer is surface-modified with a composition containing one or more anions selected from the group consisting of F− and Cl−, wherein the surface layer is a layer in which a raw material containing one or more anions selected from the group consisting of F− and Cl− is vaporized by heating and adsorbed to the surface of the ceramic coating layer, and thus modified with a composition containing one or more anions selected from the group consisting of F− and Cl−, and a method of manufacturing the same. According to the present invention, the plasma-resistant property, durability, and etching process stability of the ceramic member may be improved with low costs.
Plasma resistant ceramic member and manufacturing method of the same
본 발명은, 기판; 및 상기 기판 상부에 형성된 세라믹 코팅층을 포함하는 세라믹 부재로서, 상기 세라믹 코팅층은, 상기 기판 상부에 형성된 산화물 조성의 하부층; 및 상기 세라믹 코팅층의 표면을 구성하는 산화물 조성 성분이 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 포함하는 조성으로 표면개질된 표면층;을 포함하고, 상기 표면층은 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 함유하는 원료가 가열에 의해 기화되어 상기 세라믹 코팅층의 표면에 흡착되어 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 포함하는 조성으로 개질된 층인 것을 특징으로 하는 내플라즈마 세라믹 부재 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 세라믹 부재의 내플라즈마 특성, 내구성, 식각공정 안정성을 저비용으로 개선할 수 있다.
The present invention provides a plasma-resistant ceramic member, which includes a substrate and a ceramic coating layer formed on the substrate, in which the ceramic coating layer includes a lower layer consisting of an oxide formed on the substrate, and a surface layer in which an oxide composition component constituting the surface of the ceramic coating layer is surface-modified with a composition containing one or more anions selected from the group consisting of F− and Cl−, wherein the surface layer is a layer in which a raw material containing one or more anions selected from the group consisting of F− and Cl− is vaporized by heating and adsorbed to the surface of the ceramic coating layer, and thus modified with a composition containing one or more anions selected from the group consisting of F− and Cl−, and a method of manufacturing the same. According to the present invention, the plasma-resistant property, durability, and etching process stability of the ceramic member may be improved with low costs.
Plasma resistant ceramic member and manufacturing method of the same
내플라즈마 세라믹 부재 및 그 제조방법
2024-08-30
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
PLASMA RESISTANT CERAMIC MEMBER AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME
| European Patent Office | 2023
Plasma resistant ceramic member and manufacturing method of the same
| European Patent Office | 2023
PLASMA-RESISTANT CERAMIC MEMBER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
| European Patent Office | 2022
PLASMA-RESISTANT CERAMIC SUBSTRATE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
| European Patent Office | 2024
Plasma resistant ceramic substrate and manufacturing method of the same
| European Patent Office | 2022