A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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PLASMA-RESISTANT CERAMIC SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
The present invention relates a plasma-resistant ceramic substrate and a manufacturing method therefor, the ceramic substrate comprising: a bulk of an oxide composition; and a surface layer in which components of the oxide composition constituting the bulk are modified to have a composition including one or more anions selected from the group consisting of F- and Cl-, wherein the surface layer is a layer modified to have a composition including one or more anions selected from the group consisting of F- and Cl-, by heating to vaporize a raw material including one or more anions selected from the group consisting of F- and Cl-, to be adsorbed onto the surface of the ceramic substrate. According to the present invention, the plasma-resistant characteristics and durability of the ceramic substrate may be improved at low costs.
La présente invention concerne un substrat céramique résistant au plasma et son procédé de fabrication, le substrat céramique comprenant : une masse constituée d'une composition d'oxyde ; et une couche de surface dans laquelle des constituants de la composition d'oxyde constituant la masse sont modifiés pour avoir une composition comprenant un ou plusieurs anions choisis dans le groupe constitué par F- et Cl-, la couche de surface étant une couche modifiée pour avoir une composition comprenant un ou plusieurs anions choisis dans le groupe constitué par F- et Cl-, par chauffage, de façon à la vaporiser, d'une matière première comprenant un ou plusieurs anions choisis dans le groupe constitué par F- et Cl-, pour qu'elle soit adsorbée sur la surface du substrat céramique. Selon la présente invention, les caractéristiques de résistance au plasma et la durabilité du substrat céramique peuvent être améliorées à faibles coûts.
본 발명은, 산화물 조성의 벌크; 및 상기 벌크를 구성하는 산화물 조성 성분이 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 포함하는 조성으로 개질된 표면층;을 포함하는 세라믹 기판으로서, 상기 표면층은 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 함유하는 원료가 가열에 의해 기화되어 상기 세라믹 기판의 표면에 흡착되어 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 포함하는 조성으로 개질된 층인 것을 특징으로 하는 내플라즈마 세라믹 기판 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 세라믹 기판의 내플라즈마 특성, 내구성을 저비용으로 개선할 수 있다.
PLASMA-RESISTANT CERAMIC SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
The present invention relates a plasma-resistant ceramic substrate and a manufacturing method therefor, the ceramic substrate comprising: a bulk of an oxide composition; and a surface layer in which components of the oxide composition constituting the bulk are modified to have a composition including one or more anions selected from the group consisting of F- and Cl-, wherein the surface layer is a layer modified to have a composition including one or more anions selected from the group consisting of F- and Cl-, by heating to vaporize a raw material including one or more anions selected from the group consisting of F- and Cl-, to be adsorbed onto the surface of the ceramic substrate. According to the present invention, the plasma-resistant characteristics and durability of the ceramic substrate may be improved at low costs.
La présente invention concerne un substrat céramique résistant au plasma et son procédé de fabrication, le substrat céramique comprenant : une masse constituée d'une composition d'oxyde ; et une couche de surface dans laquelle des constituants de la composition d'oxyde constituant la masse sont modifiés pour avoir une composition comprenant un ou plusieurs anions choisis dans le groupe constitué par F- et Cl-, la couche de surface étant une couche modifiée pour avoir une composition comprenant un ou plusieurs anions choisis dans le groupe constitué par F- et Cl-, par chauffage, de façon à la vaporiser, d'une matière première comprenant un ou plusieurs anions choisis dans le groupe constitué par F- et Cl-, pour qu'elle soit adsorbée sur la surface du substrat céramique. Selon la présente invention, les caractéristiques de résistance au plasma et la durabilité du substrat céramique peuvent être améliorées à faibles coûts.
본 발명은, 산화물 조성의 벌크; 및 상기 벌크를 구성하는 산화물 조성 성분이 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 포함하는 조성으로 개질된 표면층;을 포함하는 세라믹 기판으로서, 상기 표면층은 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 함유하는 원료가 가열에 의해 기화되어 상기 세라믹 기판의 표면에 흡착되어 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 포함하는 조성으로 개질된 층인 것을 특징으로 하는 내플라즈마 세라믹 기판 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 세라믹 기판의 내플라즈마 특성, 내구성을 저비용으로 개선할 수 있다.
PLASMA-RESISTANT CERAMIC SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
SUBSTRAT CÉRAMIQUE RÉSISTANT AU PLASMA ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
내플라즈마 세라믹 기판 및 그 제조방법
LEE SUNG MIN (author) / OH YOON SUK (author) / KIM HYEONG JUN (author) / OH GYUSANG (author)
2022-06-30
Patent
Electronic Resource
Korean
PLASMA-RESISTANT CERAMIC SUBSTRATE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
| European Patent Office | 2024
Plasma resistant ceramic substrate and manufacturing method of the same
| European Patent Office | 2022
ALUMINUM-CERAMIC BONDED SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
| European Patent Office | 2022
METAL-CERAMIC BONDED SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
| European Patent Office | 2022