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Mn Nb PZT COMPOSITION FOR FORMING MANGANESE- AND NIOBIUM-DOPED PZT PIEZOELECTRIC FILM
본 발명은, Mn 및 Nb 도프의 복합 금속 산화물로 이루어지는 PZT 계 압전체막의 형성에 사용되는 조성물이고, 상기 조성물 중의 금속 원자비 (Pb : Mn : Nb : Zr : Ti) 가 (1.00 ∼ 1.25) : (0.002 ∼ 0.056) : (0.002 ∼ 0.056) : (0.40 ∼ 0.60) : (0.40 ∼ 0.60) 을 만족하고, 또한 상기 Mn 및 Nb 의 금속 원자비의 합계를 1 로 했을 때의 상기 Mn 의 비율이 0.20 ∼ 0.80, 상기 Zr 및 Ti 의 금속 원자비의 합계를 1 로 했을 때의 상기 Zr 의 비율이 0.40 ∼ 0.60, 상기 Mn, Nb, Zr 및 Ti 의 금속 원자비의 합계를 1 로 했을 때의 상기 Zr 및 Ti 의 합계 비율이 0.9300 ∼ 0.9902 가 되는 비율로 PZT 계 전구체를 포함한다.
A composition used for forming a PZT-based piezoelectric film formed of Mn and Nb co-doped composite metal oxides is provided, in which the composition includes PZT-based precursors so that a metal atom ratio (Pb:Mn:Nb:Zr:Ti) in the composition satisfies (1.00 to 1.25):(0.002 to 0.056):(0.002 to 0.056):(0.40 to 0.60):(0.40 to 0.60), a rate of Mn is from 0.20 to 0.80 when the total of metal atom rates of Mn and Nb is 1, a rate of Zr is from 0.40 to 0.60 when the total of metal atom rates of Zr and Ti is 1, and the total rate of Zr and Ti is from 0.9300 to 0.9902 when the total of metal atom rates of Mn, Nb, Zr, and Ti is 1.
Mn Nb PZT COMPOSITION FOR FORMING MANGANESE- AND NIOBIUM-DOPED PZT PIEZOELECTRIC FILM
본 발명은, Mn 및 Nb 도프의 복합 금속 산화물로 이루어지는 PZT 계 압전체막의 형성에 사용되는 조성물이고, 상기 조성물 중의 금속 원자비 (Pb : Mn : Nb : Zr : Ti) 가 (1.00 ∼ 1.25) : (0.002 ∼ 0.056) : (0.002 ∼ 0.056) : (0.40 ∼ 0.60) : (0.40 ∼ 0.60) 을 만족하고, 또한 상기 Mn 및 Nb 의 금속 원자비의 합계를 1 로 했을 때의 상기 Mn 의 비율이 0.20 ∼ 0.80, 상기 Zr 및 Ti 의 금속 원자비의 합계를 1 로 했을 때의 상기 Zr 의 비율이 0.40 ∼ 0.60, 상기 Mn, Nb, Zr 및 Ti 의 금속 원자비의 합계를 1 로 했을 때의 상기 Zr 및 Ti 의 합계 비율이 0.9300 ∼ 0.9902 가 되는 비율로 PZT 계 전구체를 포함한다.
A composition used for forming a PZT-based piezoelectric film formed of Mn and Nb co-doped composite metal oxides is provided, in which the composition includes PZT-based precursors so that a metal atom ratio (Pb:Mn:Nb:Zr:Ti) in the composition satisfies (1.00 to 1.25):(0.002 to 0.056):(0.002 to 0.056):(0.40 to 0.60):(0.40 to 0.60), a rate of Mn is from 0.20 to 0.80 when the total of metal atom rates of Mn and Nb is 1, a rate of Zr is from 0.40 to 0.60 when the total of metal atom rates of Zr and Ti is 1, and the total rate of Zr and Ti is from 0.9300 to 0.9902 when the total of metal atom rates of Mn, Nb, Zr, and Ti is 1.
Mn Nb PZT COMPOSITION FOR FORMING MANGANESE- AND NIOBIUM-DOPED PZT PIEZOELECTRIC FILM
Mn 및 Nb 도프의 PZT 계 압전체막 형성용 조성물
DOI TOSHIHIRO (author) / SAKURAI HIDEAKI (author) / SOYAMA NOBUYUKI (author)
2016-12-05
Patent
Electronic Resource
Korean
COMPOSITION FOR FORMING MANGANESE- AND NIOBIUM-DOPED PZT PIEZOELECTRIC FILM
| European Patent Office | 2020
COMPOSITION FOR FORMING MANGANESE- AND NIOBIUM-DOPED PZT PIEZOELECTRIC FILM
| European Patent Office | 2015
Mn Nb PZT COMPOSITION FOR FORMING MANGANESE- AND NIOBIUM-DOPED PZT PIEZOELECTRIC FILM
European Patent Office | 2021
MANGANESE- AND NIOBIUM-DOPED PZT BASED PIEZOELECTRIC MATERIAL FILM
| European Patent Office | 2015