A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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Sintered ceramics for electrostatic chuck and manufacturing method of the same
The present invention relates to a ceramic sintered body for electrostatic chuck and a manufacturing method thereof. The sintered body is formed by combining one or more kinds of materials selected among graphene, graphite, and one or more materials selected among alumina (Al_2O_3) and aluminum nitride (AlN) in a material used as an electrostatic chuck. In the sintered body, one or more kinds of materials selected among graphite and graphene and one or more kinds of materials selected among alumina (Al_2O_3) and aluminum nitride (AlN) form a volume ratio of 1:90 to 100. The present invention has high resistivity and permittivity, has small dielectric loss, is dense, has low surface roughness, has excellent plasma resistance properties, suppresses contaminated particle generation, has excellent mechanical properties, and can obtain a stable material without cracks.
본 발명은, 정전척에 사용되는 소재에 있어서, 알루미나(AlO) 및 질화알루미늄(AlN) 중에서 선택된 1종 이상의 물질과 그라파이트 및 그래핀 중에서 선택된 1종 이상의 물질이 복합화된 소결체이고, 상기 소결체에서 상기 그라파이트 및 그래핀 중에서 선택된 1종 이상의 물질과 상기 알루미나(AlO) 및 질화알루미늄(AlN) 중에서 선택된 1종 이상의 물질은 1:90∼100의 부피비를 이루는 것을 특징으로 하는 정전척용 세라믹 소결체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 높은 비저항 및 유전율을 갖고, 유전손실이 작으며, 치밀하고, 낮은 표면조도를 가지며, 내플라즈마 특성이 우수하고, 오염입자 발생이 억제되며, 기계적 특성(mechanical properties)이 우수하고, 균열이 없는 안정한 소재를 얻을 수 있다.
Sintered ceramics for electrostatic chuck and manufacturing method of the same
The present invention relates to a ceramic sintered body for electrostatic chuck and a manufacturing method thereof. The sintered body is formed by combining one or more kinds of materials selected among graphene, graphite, and one or more materials selected among alumina (Al_2O_3) and aluminum nitride (AlN) in a material used as an electrostatic chuck. In the sintered body, one or more kinds of materials selected among graphite and graphene and one or more kinds of materials selected among alumina (Al_2O_3) and aluminum nitride (AlN) form a volume ratio of 1:90 to 100. The present invention has high resistivity and permittivity, has small dielectric loss, is dense, has low surface roughness, has excellent plasma resistance properties, suppresses contaminated particle generation, has excellent mechanical properties, and can obtain a stable material without cracks.
본 발명은, 정전척에 사용되는 소재에 있어서, 알루미나(AlO) 및 질화알루미늄(AlN) 중에서 선택된 1종 이상의 물질과 그라파이트 및 그래핀 중에서 선택된 1종 이상의 물질이 복합화된 소결체이고, 상기 소결체에서 상기 그라파이트 및 그래핀 중에서 선택된 1종 이상의 물질과 상기 알루미나(AlO) 및 질화알루미늄(AlN) 중에서 선택된 1종 이상의 물질은 1:90∼100의 부피비를 이루는 것을 특징으로 하는 정전척용 세라믹 소결체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 높은 비저항 및 유전율을 갖고, 유전손실이 작으며, 치밀하고, 낮은 표면조도를 가지며, 내플라즈마 특성이 우수하고, 오염입자 발생이 억제되며, 기계적 특성(mechanical properties)이 우수하고, 균열이 없는 안정한 소재를 얻을 수 있다.
Sintered ceramics for electrostatic chuck and manufacturing method of the same
정전척용 세라믹 소결체 및 그 제조방법
KIM JONG YOUNG (author) / CHOI KI BEOM (author) / CHO WOO SEOK (author) / KIM BYUNG HAK (author) / BAIK SEUNG WOO (author)
2017-12-26
Patent
Electronic Resource
Korean
| European Patent Office | 2020
| European Patent Office | 2022
| European Patent Office | 2024
SINTERED BODY METHOD OF MANUFACTURING THE SAME AND ELECTROSTATIC CHUCK
European Patent Office | 2021
SINTERED BODY METHOD OF MANUFACTURING THE SAME AND ELECTROSTATIC CHUCK
| European Patent Office | 2017