A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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COMPOSITE SINTERED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER, ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING COMPOSITE SINTERED BODY
A composite sintered body that comprises a metal oxide serving as a main phase, silicon carbide serving as a sub phase and silicate of the metal element contained in the metal oxide, wherein the average aggregate diameter of the silicate in a visual field of 600 μm2 at 1000-fold magnification is not more than 5 μm.
L'invention concenre un corps fritté composite qui comprend un oxyde métallique servant de phase principale, du carbure de silicium servant de sous-phase et de silicate de l'élément métallique contenu dans l'oxyde métallique, le diamètre moyen d'agrégat du silicate dans un champ visuel de 600 µm 2 à un grossissement de 1000 fois n'étant pas supérieur à 5 µm.
主相である金属酸化物と、副相である炭化ケイ素と、金属酸化物に含まれる金属元素のケイ酸塩と、を含み、拡大倍率１０００倍での６００μｍ２の視野におけるケイ酸塩の平均凝集径が５μｍ以下である複合焼結体。
COMPOSITE SINTERED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER, ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING COMPOSITE SINTERED BODY
A composite sintered body that comprises a metal oxide serving as a main phase, silicon carbide serving as a sub phase and silicate of the metal element contained in the metal oxide, wherein the average aggregate diameter of the silicate in a visual field of 600 μm2 at 1000-fold magnification is not more than 5 μm.
L'invention concenre un corps fritté composite qui comprend un oxyde métallique servant de phase principale, du carbure de silicium servant de sous-phase et de silicate de l'élément métallique contenu dans l'oxyde métallique, le diamètre moyen d'agrégat du silicate dans un champ visuel de 600 µm 2 à un grossissement de 1000 fois n'étant pas supérieur à 5 µm.
主相である金属酸化物と、副相である炭化ケイ素と、金属酸化物に含まれる金属元素のケイ酸塩と、を含み、拡大倍率１０００倍での６００μｍ２の視野におけるケイ酸塩の平均凝集径が５μｍ以下である複合焼結体。
COMPOSITE SINTERED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER, ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING COMPOSITE SINTERED BODY
CORPS FRITTÉ COMPOSITE, ÉLÉMENT DE MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE, DISPOSITIF DE MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CORPS FRITTÉ COMPOSITE
複合焼結体、静電チャック部材、静電チャック装置および複合焼結体の製造方法
HIDAKA NOBUHIRO (author) / OOTOMO MEGUMI (author) / ARIKAWA JUN (author)
2020-11-26
Patent
Electronic Resource
Japanese
| European Patent Office | 2022
| European Patent Office | 2024
COMPOSITE SINTERED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER, AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE
| European Patent Office | 2019
COMPOSITE SINTERED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER, AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE
| European Patent Office | 2018
Composite sintered body, electrostatic chuck member, and electrostatic chuck device
| European Patent Office | 2023